반도체 장비 제작
장비 제작
- ETCHING
- WETSTATION
- SCRUBBER
SETUP
- 도킹
- 조립(QARTZ배스 포함)
- 티칭 공정
- 3차 배관
Specifications
12인치 단일 웨이퍼 세정 장비
- 1. 공정 웨이퍼 사이즈 : 12인치
- 2. 공정 화공 약품 : 유기물, 산, 알칼리
- 3. 공정 챔버 : 1~12 챔버
- 4. 카세트 공간 : 1~4 카세트
- 5. 웨이퍼 이동 로봇 : 3 or 4 축 로봇
- 6. 로봇 그립 : 단일 & 듀얼 타입
- 7. 웨이퍼 고정 방식 : 핀 & 진공 타입
- 8. 시스템 : 로봇 웨이퍼 매핑
8~12인치 단일 웨이퍼 세정 장비
- 1. 공정 웨이퍼 사이즈 : 6 ~12인치
- 2. 공정 화공 약품 : 유기물, 산, 알칼리
- 3. 공정 챔버 : 1~4 챔버
- 4. 카세트 공간 : 1~2 카세트
- 5. 웨이퍼 이동 로봇 : 3 or 4 축 로봇
- 6. 로봇 그립 : 단일 & 듀얼 타입
- 7. 웨이퍼 고정방식 : 핀 & 진공 타입
- 8. 시스템 : 로봇 웨이퍼 매핑
12인치 자동화 세정 장비 (케리어 타입)
- 1. 공정 웨이퍼 사이즈 : 12인치
- 2. 공정 화공 약품 : 유기물, 산, 알칼리
- 3. 공정 조 재질 : 테프론, 스테인레스, 석영, 수지
- 4. 투입 & 배출 : 케리어 시스템
- 5. 건조기 : 회전, IPA약품, 마랑고니
- 6. 소프트웨어 : 공정 조 세정 시스템
12인치 자동화 세정 장비 (카세트 타입)
- 1. 공정 웨이퍼 사이즈 : 6 ~ 8인치
- 2. 공정 화공 약품 : 유기물, 산, 알칼리
- 3. 공정 조 재질 : 테프론, 스테인레스, 석영, 수지
- 4. 투입 & 배출 : 케리어 시스템
- 5. 건조기 : 회전, IPA약품, 마랑고니
- 6. 소프트웨어 : 공정 조 세정 시스템
에칭 자동화 세정 장비
- 1. 공정 웨이퍼 종류 : 고객 요구 대응
- 2. 공정 화공 약품 : 유기물, 산, 알칼리
- 3. 공정 조 재질 : 테프론, 스테인레스, 석영, 수지
- 4. 투입 & 배출 : 케리어 시스템
- 5. 소프트웨어 : 공정 조 세정 시스템
튜브 세정 장비
- 1. 공정 튜브 사이즈 : 8 ~ 12인치
- 2. 공정 화공 약품 : 산
- 3. 공정 조 재질 : 테프론, PP,
- 4. 소프트웨어 : 공정 조 세정 시스템
화공약품(산) 수동 세정 장비
- 1. 공정 튜브 사이즈 : 4 ~ 12인치
- 2. 공정 화공 약품 : 산, 알칼리
- 3. 공정 조 재질 : 테프론, 석영, 수지
- 4. 소프트웨어 : 공정 조 세정 시스템
화공약품(유기물) 수동 세정 장비
- 1. 공정 튜브 사이즈 : 4 ~ 12인치
- 2. 공정 화공 약품 : 유기물
- 3. 공정 조 재질 : 테프론, 석영, 스테인레스
- 4. 소프트웨어 : 공정 조 세정 시스템
부품 세정 장비
- 1. 공정 세정 종류 : 부품
- 2. 공정 화공 약품 : 유기물, 산, 알칼리
- 3. 공정 조 재질 : 테프론, 스테인레스, 수지
- 4. 소프트웨어 : 공정 조 세정 시스템
화공약품 공급 장비
- 1. 탱크 종류 : 드럼통, 말통
- 2. 화공 약품 : 유기물, 산, 알칼리
- 3. 탱크 재질 : 스테인레스, 수지
- 4. 옵션 : 약품 혼합 시스템